1756-L65 通常情況下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實際上,薄膜的表面是不平整,不連續(xù)的,且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜,由于電路集成程度的不斷提高,薄膜厚度的任何微小變化,對集成電路的性能都會產(chǎn)生直接的影響。除此之外,薄膜材料的力學(xué)性能,透光性能,磁性能,熱導(dǎo)率,表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的聯(lián)系。因此在生產(chǎn)工藝中對膜厚進行在線精確檢測, 是保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率的重要手段。
對于薄膜厚度的準(zhǔn)確測量,取決于使用什么樣的厚度傳感器,目前在線薄膜厚度的檢測技術(shù)主要有幾種方式:
1、貝它探頭,是早用于薄膜檢測的傳感器,使用貝它放射源作為信號源,技術(shù)成熟。但是需要辦理放射源使用許可證,進出口手續(xù)比較復(fù)雜。有半衰期的使用年限限制,且檢測精度會隨著放射源的衰減而降低。
2、紅外探頭,利用特定紅外線波段在特定的塑料薄膜中被強烈吸收的原理測量薄膜的厚度。該傳感器檢測穩(wěn)定,不受壞境變化影響,但對添加劑及顏色的變化敏感,在同一生產(chǎn)線上要生產(chǎn)多種產(chǎn)品不能適應(yīng)。
3、X線探頭,利用X線管通電產(chǎn)生X線作為信號源來檢測塑料薄膜的厚度。有諸多優(yōu)點:飛放射性物質(zhì);低能量無需使用許可證;測量范圍廣;測量精度高;各種塑料都可測量,不受添加劑和色母料的影響。
目前膜厚測量儀器向高精度、自動化方向發(fā)展, 已達到很高的水平, 其測量精度對一般膜層為被測膜厚的±2%~±5%, 對于較薄膜為±2nm, 并具有微區(qū)測量功能、測量速度快、自動化程度高。特別是隨著科技的進步和精密儀器的應(yīng)用,除了上述的檢測技術(shù)方式外薄膜厚度的測量方法還可以用超聲波傳感器來對薄膜厚度進行檢測,工采網(wǎng)推薦的MaxBotix 超聲波傳感器 - MB7480是高性能超聲波精度 測距儀可在空氣中提供高精度,高分辨率的超聲波測距。
工控廠商施耐德發(fā)布安全公告,確認(rèn)其派爾高 Sarix Pro 網(wǎng)絡(luò)攝像頭產(chǎn)品存在 12 個安全漏洞,并提醒客戶盡快升級固件。據(jù)這些漏洞的提交者綠盟科技工控安全研究團隊介紹,這12個漏洞中,4個漏洞被評級為嚴(yán)重,7個高危,CVSS高評分達到了 9.8。
綠盟科技3月2日向雷鋒網(wǎng)披露了這些漏洞的部分情況:
2017年11月,綠盟科技工控安全研究團隊在工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)安全性研究過程中,發(fā)現(xiàn)了Pelco Sarix Professional工控網(wǎng)絡(luò)攝像頭存在安全性問題且威脅等級較高,隨即將相關(guān)情況告知施耐德,并等待廠商發(fā)布補丁,便于客戶做好防護準(zhǔn)備。
2018年3月1日,施耐德更新安全性公告,建議客戶盡快更新產(chǎn)品固件到3.29.67,以便修復(fù)如下這些漏洞:
CVE-2018-7227,Information Disclosure,CVSS 5.3(中威)
CVE-2018-7228,Authentication Bypass,CVSS 7.5(高危)
CVE-2018-7229,Authentication Bypass,CVSS 7.5(高危)
CVE-2018-7230,XML External Entity Vulnerability,CVSS 7.4(高危)
CVE-2018-7231,Command Execution - ‘system.opkg.remove’,CVSS 9.8(嚴(yán)重)
CVE-2018-7232,Command Execution - ‘network.ieee8021x.delete_certs’,CVSS 9.4(嚴(yán)重)
CVE-2018-7233,Command Execution - ‘model_name’ or ‘mac_address’,CVSS 9.4(嚴(yán)重)
CVE-2018-7234,Arbitrary File Download,CVSS 8.2(高危)
CVE-2018-7235,Command Execution - ‘system.download.sd_file’,CVSS 8.8(高危)
CVE-2018-7236,Authentication Bypass,CVSS 8.1(高危)
CVE-2018-7237,Arbitrary File Delete,CVSS 9.4(嚴(yán)重)
CVE-2018-7238,Buffer Overflow,CVSS 8.4(高危)
施耐德在公告中對漏洞發(fā)現(xiàn)者表示了感謝。綠盟科技還向雷鋒網(wǎng)透露,其安全團隊陸續(xù)發(fā)現(xiàn)國內(nèi)外一批工業(yè)攝像頭產(chǎn)品存在安全性問題,日后將公布情況。這意味著,目前還有一些未知的存在安全問題的工業(yè)攝像頭正在使用中。
自工業(yè)革命以來,工業(yè)已經(jīng)發(fā)展近200年。每一次技術(shù)的革新都帶給人類生活嶄新的變化。制造業(yè)、水力、電力、核工業(yè)、化工、交通運輸……這些行業(yè)以自己的方式,演進形成了一套自動化的工業(yè)控制系統(tǒng),簡稱工控系統(tǒng)。
這些曾經(jīng)是封閉的,每個產(chǎn)業(yè)都是自己的獨立王國,每個王國多少年來獨自迭代進化,在自己的路上默默前行。而這些工控系統(tǒng)就像工業(yè)生產(chǎn)的大腦,借助自動化系統(tǒng)的力量,提升工業(yè)企業(yè)的生產(chǎn)效率。
而大時代變了。吃貨喜歡問的是,這個可以吃么;互聯(lián)網(wǎng)喜歡問的是,這個可以連么……直接或者間接的,在守衛(wèi)森嚴(yán)的生產(chǎn)線,生產(chǎn)設(shè)備可能經(jīng)過企業(yè)辦公內(nèi)網(wǎng),甚至普通的存儲介質(zhì),直接或間接的連接到的互聯(lián)網(wǎng)。這將沉封已久的,倍受保護與隔離的工業(yè)控制系統(tǒng),以某種形式連接到公共網(wǎng)絡(luò)中。
2010年的“震網(wǎng)”,不僅把網(wǎng)震了,也震驚了全?,F(xiàn)實的精準(zhǔn)打擊,在網(wǎng)絡(luò)上得到復(fù)制。哪怕是戒備森嚴(yán)的核設(shè)備,也能百步穿楊一招致命。
工業(yè)不是網(wǎng)絡(luò)虛擬,就是現(xiàn)實。工業(yè)搞生產(chǎn),直接關(guān)系國計民生。你喝的自來水,用的電,坐的交通工具,使用的生活用品,都來自工業(yè)生產(chǎn)。這才是大格局的(生產(chǎn))線上到線下啊,于是工控安全就尤其重要了。
如果自來水的工控系統(tǒng)安全性受到破壞,一座城市的水質(zhì)可能出現(xiàn)問題;如果一個電站被攻破,電網(wǎng)可能因為一個節(jié)點的損壞而造成全局破壞;如果化工廠的生產(chǎn)流程工藝被入侵,原料外泄,一座城市的居民就會有生命危險……
這就是互聯(lián)網(wǎng)越長越大所需要的擔(dān)當(dāng)。這已經(jīng)不再是虛擬里算錯一個數(shù)值,而造成的錯誤推薦,然后公關(guān)打個哈哈就不了了之;這是一分責(zé)任,伴隨著能力的增長,而愈加明顯。
萬物互聯(lián)非常美好,我們的征途是星辰大海,但是別忘記,暗處的冰山。
廈門鑫恒自動化設(shè)備有限公司
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各品牌DCS、PLC備件
? Invensys Foxboro(??怂共_):I/A Series系統(tǒng),F(xiàn)BM(現(xiàn)場輸入/輸出模塊)順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數(shù)模轉(zhuǎn)換、輸入/輸出信號處理、數(shù)據(jù)通信及處理等。
? Invensys Triconex: 冗余容錯控制系統(tǒng)、基于三重模件冗余(TMR)結(jié)構(gòu)的現(xiàn)代化的容錯控制器。
? Westinghouse(西屋): OVATION系統(tǒng)、WDPF系統(tǒng)、WEStation系統(tǒng)備件。
? Rockwell Allen-Bradley Reliance瑞恩:SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
? Schneider Modicon(施耐德莫迪康):Quantum 140系列處理器、控制卡、電源模塊等。
? ABB:工業(yè)機器人備件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
? Siemens(西門子)伺服控制系統(tǒng):Siemens MOORE, Siemens Simatic C1, 6SN1118,6ES7416,6FC5103,6SN1123,6RB2026,6SC6100,6SN1145,6SN6111,6SC6101,6DR2100, Siemens S5 系列
? Motorola(摩托羅拉):MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
? XYCOM:I/O 、VME板和處理器等。
? GE FA SPC閥位控制器、PEAK150數(shù)字控制器。NUC(GE發(fā)那科):模塊、卡件、驅(qū)動器等各類備件。
? Yaskawa(安川):伺服控制器、伺服馬達、伺服驅(qū)動器。
? Bosch Rexroth(博世力士樂)伺服控制系統(tǒng):Indramat Motor MAC,DCK04.3,Bosch Versorgungs.I/O模塊,PLC控制器,驅(qū)動模塊等。
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