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氬氣主要用途: 用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀 積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作標(biāo)準(zhǔn) 氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等。
在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產(chǎn)鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對(duì)鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉,以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護(hù)氣。
在空氣中含有的0.932%的氬,沸點(diǎn)在氧、氮之間,在空分裝置上塔的中部含量高,叫氬餾分。在分離氧、氮的同時(shí),將氬餾分抽出,進(jìn)一步分離提純,也可得到氬副產(chǎn)品。對(duì)全低壓空分裝置,一般可將加工空氣中30%~35%的氬作為產(chǎn)品獲得(新流程已可將氬的提取率提高到80%以上);對(duì)中壓空分裝置,由于膨脹空氣進(jìn)下塔,不影響上塔的精餾過程,氬的提取率可達(dá)60%左右。但是,小型空分裝置總的加工空氣量少,所能生產(chǎn)的氬氣量有限,是否需要配置提氬裝置,要視具體情況確定。