凈化工程是在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種:
空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài):各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員。
動(dòng)態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
控管項(xiàng)目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調(diào)節(jié)。
5、有害氣體之排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素之考慮。
10、節(jié)能之考量。
氣流的流動(dòng)
氣流的重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
風(fēng)速的控制
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。
一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
潔凈室之構(gòu)成
潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:
(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceiling
(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)等。
(3)隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。
(4)地板:包括高架地板或防靜電地板。
(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性??;
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;本公司是一家專業(yè)服務(wù)于空氣凈化和實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃工程的高科技企業(yè)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、精細(xì)化工、精密機(jī)械和食品生產(chǎn)包裝、生物工程、**衛(wèi)生、高校、科研實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。
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長(zhǎng)期以來(lái),公司注重科技投入 ,本著“科技創(chuàng)新”、“質(zhì)量取勝”、“誠(chéng)信為本”的原則,憑借現(xiàn)代化的管理制度、可靠的質(zhì)量、雄厚的技術(shù)力量、合理的價(jià)格、的服務(wù),得到了各行業(yè)客戶的一致好評(píng),為企業(yè)贏得了卓越商譽(yù)。
在企業(yè)建設(shè)過(guò)程中,我們將努力把握市場(chǎng)需求,創(chuàng)新營(yíng)銷思路,提高管理水平,在產(chǎn)品質(zhì)量、價(jià)格、服務(wù)、信譽(yù)等方面滿足客戶需求,為公司和社會(huì)創(chuàng)造價(jià)值 ;
屬緊湊型產(chǎn)品,減小了機(jī)組長(zhǎng)度,溫濕度控制精度高,節(jié)能顯著變水量控制、變風(fēng)量控制可實(shí)現(xiàn)BAS樓宇自動(dòng)化 。
一、組合式空調(diào)機(jī)組概述
DJ系列組合式空調(diào)機(jī)組是我單位結(jié)合數(shù)十年專業(yè)生產(chǎn)空調(diào)機(jī)組的經(jīng)驗(yàn),借鑒國(guó)內(nèi)外同類機(jī)組優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上,引進(jìn)先進(jìn)技術(shù)和生產(chǎn)工藝開發(fā)而成。該機(jī)組可對(duì)空氣進(jìn)行冷 卻、干燥、加熱、加濕、過(guò)濾、凈化,并具有消聲功能。可廣泛適用于商場(chǎng)、賓館、寫字樓、體育館等需空氣集中處理的場(chǎng)合以及醫(yī)院手術(shù)室、制藥、卷煙、食品、 精密儀器制造等凈化空調(diào)場(chǎng)合。
dj系列組合式空調(diào)機(jī)組分通用型機(jī)組、凈化型機(jī)組兩種。處理風(fēng)量2000-200000m3/h。我單位生產(chǎn)的空調(diào)機(jī)組各項(xiàng)性能(如冷、熱量、噪音、密封性)均已達(dá)到國(guó)內(nèi)水平。
二、組合式空調(diào)機(jī)組售后優(yōu)勢(shì)
廣州安諾凈化工程有限公司具備十六年專業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),輔以創(chuàng)新求精的理念,提供獨(dú)特的組合設(shè)計(jì),混合段、過(guò)濾段、表冷段、加熱段、加濕段、消聲段、風(fēng)機(jī)段等功能段獨(dú)立制造,再依據(jù)不同的使用要求加以組合,從一般性的舒適性空調(diào)用途到要求嚴(yán)格的醫(yī)院手術(shù)室及集成電路無(wú)塵室等潔凈工藝性空調(diào)均可滿足要求。
1、機(jī)組的高度和寬度可以靈活選擇以適應(yīng)現(xiàn)場(chǎng)條件和對(duì)機(jī)組外形尺寸的需要。
2、可以散件發(fā)運(yùn)至工地,再在現(xiàn)場(chǎng)安裝組合。
3、合理的框架結(jié)構(gòu),產(chǎn)品堅(jiān)固耐用,保溫性能優(yōu)良
4、采用加強(qiáng)型鋁合金框架結(jié)構(gòu),利用高強(qiáng)度聯(lián)角件將機(jī)組連接成堅(jiān)實(shí)的整體,同時(shí)還布置有合理的中間支撐,使得機(jī)組受力均勻,從而保證機(jī)組在高壓下不變形。
5、箱體面板為雙層壁板結(jié)構(gòu),內(nèi)層為鍍鋅鋼板,外層為彩色復(fù)合鋼板,中間采用30-50mm厚的無(wú)氟聚氨酯發(fā)泡作為保溫材料,導(dǎo)熱系數(shù)小,防水隔熱效果佳。同時(shí)壁板內(nèi)部效果設(shè)計(jì)有加強(qiáng)結(jié)構(gòu),使機(jī)組更牢固、更耐用。
6、鋁合金面板和框架間采用絕熱保護(hù),安全消除了冷橋,漏風(fēng)率小,密封性好。
7、整體結(jié)構(gòu)新穎獨(dú)特,剛性強(qiáng),重量輕,拆裝方便。