尼龍真空包裝袋厚度的測量方法，可以根據(jù)包裝袋的定義分為形狀膜厚測量方法、質(zhì)量膜厚測置方法和物性膜測量方法三大類，也可以根據(jù)測量方法對薄膜破壞與否分為破壞測量方法和非破壞測量方法兩大類。

　　尼龍真空包裝袋薄膜的厚度測量方法有金相顯微鏡法、掃推電鏡法、多光束干涉法、觸計法、微量天平法、石英晶體振蕩法、電阻法、電容法、偏振光解析法等等。

　　上述測量方法中多數(shù)測量結(jié)果是尼龍真空包裝袋的局部厚度的平均值，測量時應(yīng)多點測量，并計算總平均值作為膜層厚度的測量結(jié)果。

　　今天給大家介紹物理氣相沉積常用的測量方法，方法如下：

　　1、金相顯微鏡法

　　金相顯微鏡法是將試樣薄膜后，沿垂直于薄膜表面的方向切斷，將有膜的一面與一塊光潔表面的金屬保護塊，用膠粘劑粘合或用環(huán)氧樹脂鑲嵌，在薄膜的斷面方向上按金相試樣的制備方法，制成金相試祥。在金相顯微鏡下用測微計測量膜基界面到薄膜表面的距離，就是尼龍真空包裝袋的厚度。

　　金相顯微鏡的放大倍率應(yīng)在500倍以上，膜厚小于1μ時誤差較大，試樣鑲嵌時，應(yīng)注意盡可能使薄膜的斷面與膜層垂直，以降低測量誤差。

　　2、掃描電鏡法

　　掃描電鏡法的試樣制備方法，可以用金相顯微鏡法的制樣方法，制成薄膜的斷面金相試祥，也可用鍍膜的試樣，沿垂直于膜面的方向制成斷口試樣，用掃描電子顯微鏡觀察測置尼龍真空包裝袋的厚度，觀察測量時，應(yīng)注意視場的角度應(yīng)垂直薄膜的斷面。

　　3、觸針法

　　觸針法又稱表面輪郭儀法。觸針法測置時，需通過溶解一部分薄膜成者先遮蔽一部分基片再鍍膜，使基片與膜層形成一個臺階，再用輪郭記錄儀兩量臺階的高度。此高度即為尼龍真空包裝袋的厚度。

　　觸針法膜厚測量原理如圖13-73所示。它是利用一個觸針在試樣表由垂直劃動，當(dāng)觸針劃過試樣的臺階時，觸針將會產(chǎn)生垂直位移。利用位移傳感器，和出觸針的垂直位移置，即可求出薄膜的厚度，圖13-74是電感比較儀的原理。它的測置厚度范圍是1?1000μm，分辨率0.02?20μm，另一種電子觸針式表面輪郭儀的測量厚度范圍為0. 005?250μm，分辨率0.005?1μm。這兩種儀器均可以用來測量尼龍真空包裝袋的厚度。圖13-74是觸針法測定銀膜的記錄曲線。

　　影響觸針法測量精度的因素有：儀器的記錄誤差;儀器垂直放人倍數(shù)選擇太低，誤差增大;觸針測量力太大，會劃傷薄膜，造成測量誤差;觸針的直徑和尼龍真空包裝袋表面的粗鏈度應(yīng)配合選用，以降低測量誤差，尼龍真空包裝袋表面粗糙時，應(yīng)選用大直徑觸針，一般要求記錄的基體粗糙度，不應(yīng)超過臺階高度的另外，臺階的質(zhì)量、振動、塵土，想度的變化等也會彩響薄膜厚度的測量精度。

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